ЗАВИСИМОСТЬ ЭНЕРГИИ АКТИВАЦИИ ГЛУБОКИХ УРОВНЕЙ ОТ РЕЖИМОВ ИЗМЕРЕНИЙ

А.М. Богачев, В.П. Крылов
(г. Владимир, Владимирский государственный университет им. А.Г. и Н.Г.Столетовых)

Рассматриваются результаты эксперимента по определению энергии активации глубокого уровня в арсенид-галлиевой мезаструктуре методом емкостной релаксационной спектроскопии глубоких уровней при различных значениях запирающего напряжения.
The results of an experiment to determine the activation energy of a deep level in a gallium arsenide mesastructure by capacitive relaxation spectroscopy of deep levels at various values of the blocking voltage are considered.

Ключевые слова: релаксационная спектроскопия глубоких уровней, РСГУ, частотное сканирование.
Keywords: deep-level transient spectroscopy, DLTS, frequency scan.