ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ПРОВЕРКА МОДЕЛЕЙ РСГУ

Н.А. Митина, В.П. Крылов
(г. Владимир, Владимирский государственный университет им. А.Г. и Н.Г.Столетовых)

Рассматриваются результаты эксперимента по определению энергии активации глубокого уровня в арсенид-галлиевой мезаструктуре, полученные методом емкостной релаксационной спектроскопии глубоких уровней с обработкой данных по модели Орешкина и модели Лэнга.
The results of an experiment to determine the activation energy of a deep level in a gallium arsenide mesastructure, obtained by the method of capacitive deep levels transient spectroscopy with data processing according to the Oreshkin model and Lang model, are considered.

Ключевые слова: релаксационная спектроскопия глубоких уровней, РСГУ, частотное сканирование, модель Лэнга, модель Орешкина.
Keywords: deep-level transient spectroscopy, DLTS, frequency scan, Lang model, Oreshkin model.