Аннотация: Обсуждаются проблемы совместного моделирования процессов релаксации емкости барьерной микроэлектронной структуры и аппаратных преобразований слабых релаксационных сигналов.

Annotation: The problems of joint modeling of the relaxation processes of the capacitance of the barrier microelectronic structure and the hardware transformations of weak relaxation signals.

Ключевые слова: релаксационная спектроскопия глубоких уровней (РСГУ), корреляционная обработка, частотный скан

Keywords: deep-level transient spectroscopy (DLTS), correlation processing, frequency scan

 

Полный доклад доступен по ссылке.